測量儀通常由已知長度部分、定位瞄準部分、放大細分部分、顯示記錄部分、計算部分組成。測量儀器的種類很多，按其工作原理可分為： ①機械測量儀器。如杠桿齒輪比較器、扭簧比較器和千分尺。 ②光學測量儀。如千分尺自準直儀、角度比較儀、平面度檢測儀、立式光學儀、臥式光學儀、超光學儀、立式測長儀、工具顯微鏡、投影儀、接觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉儀和光學分度頭等 ③ 電測儀表。如電測微計、靜態光電顯微鏡、動態光電顯微鏡、光電準直光管、電感式比較器、電容式比較器、輪廓儀、圓度儀等。 ④氣動測量儀。如低壓水柱氣動測量儀、壓差水柱氣動測量儀、壓差水銀柱氣動測量儀、高壓膜式氣動測量儀、波紋管氣動測量儀和流量型氣動測量儀（浮標式氣動測量儀）等待。此外，測量儀器還可以根據用途進行分類。測量儀器的精度評價方法主要有檢定法、比較法和誤差分離法。